服務(wù)熱線:400-060-8660
主要特點
1. 采用雙臂 Wafer 搬運機器人;
2. 可采用 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) Load Port;
3. 非接觸式 Pre Aligner;
4.Wafer ID Reader(可選)
5. 模塊化設(shè)計,可實現(xiàn)多工藝搭配使用;
主要配置
·雙臂 Wafer 搬運機器人,非接觸 Pre Aligner,Wafer ID Reader,SEMI 標(biāo)準(zhǔn) Load Port
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